摘要：设计了一种新型的超薄型微超声波电机，该微电机定子是一个带有4个剁齿的扁网环，在交流电压的激励F同环做驻波振动，4个斜肯将径同振动转换成转子的旋转运动，属于模态转换型。此种电机定了厚度小，适合采用传统的线切割加工，加工要求低。加工出来的定子尺寸仅6 5mm×6mm，厚1mm。电机的T作频率为50 5kHz，在激励电压为300vpp时，空载转速为320rmin，堵转力矩为5 5uNm。

    关键词：超声波电机；薄型；模态转换

0引言

    随着MEMs技术发展，毫米jt度的超声微电机以其高能量／体积比密度，输出低速大力矩，不需减速机构以及结构简单等特点逐渐成为该领域的研究热点。从结构和lⅢl_艺方法上，这种超声旋转微电机分类如图l所示。

超卢旋转微电机、棒形弯曲摇头微电机<棒形弯曲摇头行波微电机