（摘  要）微电机制造特点是多品种、小批量、高精度，发展柔性制造技术是一个必然趋势。文中介绍柔性制造系统的构成、运行特点等，指出柔性制造系统可解决中小批量生产效率低、周期长、成本高、质量差等问题，对我国微电机制造技术的发展有重要意义。

    （叙词）微电机，制造，柔性制造系统，结构，综述

0引  言

    多品种、中小批量生产是国内外微电机制造业的基本特点。据统计，小批量生产成本比大批量生产约高百分之50，产品质量受人为影响也大得多。为解决这一问题，微电机制造业必须研究和采取相应的对策。企业的生产手段、模式和管理组织方法必须调整，以适应现代产品更新换代的速度和对产品质量的要求。

    当代发达国家正致力于计算机集成制造系统(cims)技术的研究，并认为cims系统要比单独开发计算机在生产中的应用技术(如cam)有更大的经济效益。国外近几年发展了柔性制造系统( fms)为cims技术开发作出了技术准备。由计算机网络控制，以数控机床和数控加工中心为主，其配置以实觋****生产组织、空间和时间的高度适应性为原则，自动处理物料流和信息流，满足多品种、小批量、高效率、低成本生产的要求。这种技术用于多品种、小批量生产所耗用的工时，接近于大批量连续生产所耗用的工时。据资料介绍fms可提前百分之30—60的新产品交货期，零件加工成本可降低百分之90，占用工时缩短百分之60以上，在制品的库存可降低百分之90。另外还有提高产品质量、缩短投产周期等明显的效益。纵观我国微电机技术进步和国民经济发展需求的形势，努力开发fms，并最终实现cims，是社会发展和生产发展的必然趋势，是我国微电机制造业提高效益，赶超世界水平的关键，应当成为微电机制造企业技术发展明确追求的目标。图1表示微电机技术发展状况。

dfa-考虑工艺的产品设计

cam-计算机辅助制造

cad-计算机辅助设计

capp-计算机辅助工艺

gt-成组技术

emc-简易加工中心

caq-计算机辅助质量管理

camp-计算机辅助材料计划

mrp-制造资源计划

ad-自适应控制

fmc-柔性制造单元

dnc-直接数字控制

cnc-计算机数字控制   

mic—债息管理系统

dss-决策支援系统   

fms-柔性制造系统

mhs-材料运贮系统

phs-零件运贮系统

ths-刀具工具运贮系统

chs-冷动液运贮系统

whs-废料运贮系统

hims-人工智能错造系统

cims-计算机集成制造系统

his-专家系统柔性制造系统(fms)

  柔性制造系统(fms)突出特点是柔性，是自动优选的随机加工能力，即同时制造一种以上工件的能力。控制系统将按比例安排各种零部件，满足产品的进度计划。fms中的机床出现故障，系统将自动选择线内其他机床代替，而使系统接近正常运行，同时也不受产品设计和刀具变化的影响。系统还具有可扩展性，能按要求扩大生产能力或可分阶段安装、使用，提高设备的利用率，减少一次投资的费用

    fms指利用计算机控制的、具唷多个独立的生产工位和物料运贮网络，用于在中小批量生产时，高效率地制造多品种产品（零件）的生产系统。这个系统由其构成各个环节的硬件和通讯、控制、数据和信息处理组成，如图2所示。fms的主要特征是把机床、输送系统和控制网络密切结合起来，在保证系统有较高乘性的条件下，获得更高的生产率。

    fms主要由三部分组成

    a．能独立工作的数控机床；

    b．-个在机床和各工位间输送工件、材料和刀具的运输网络；

    c．协调各工位机床、加工过程、工件、刀具输送装置的总体控制系统。